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近亲乱伦 测量精度小于1纳米,性能插足公共一梯队,优可测旗舰白光过问仪发布
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近亲乱伦 测量精度小于1纳米,性能插足公共一梯队,优可测旗舰白光过问仪发布
发布日期:2025-03-30 12:07    点击次数:184

近亲乱伦 测量精度小于1纳米,性能插足公共一梯队,优可测旗舰白光过问仪发布

在上海慕尼黑光博会上完成了首批里面客户体验会后,优可测全新旗舰白光过问仪 AM8000 于近日崇拜发布。这款白光过问仪可对多样精密零件及材料名义进行亚纳米级别的测量近亲乱伦,取得名义 3D 形色,测量精度小于 1nm。

在哄骗场景、智能化操作近亲乱伦、测量踏实性三大维度上,AM8000 均能全濒临标寰球顶级品牌的旗舰居品。这意味着中国品牌在高精度白光过问测量限制已收场了中枢工夫突破,并能助推中国智能制造产业连接突破中枢工夫、增强高端供给、复旧制造强国、质地强国设立。

适配更多镜头与测量样品

得志半导体、精密光学等行业需求

现在市面上的国产白光过问仪,匹配的镜头均以短焦距、小视线为主。优可测白光过问仪 AM8000,支抓适配更多倍率的镜头,如 1X 的长焦距、大视线镜头,单视线达到了 18×11mm,能很好管制大领域测量的需求;如长焦距的 5X 和 10X 镜头,焦距分辩不错达到 40mm 和 22mm,能收场对喷油嘴这种大孔深样品的测量;适配镜头的扩大,让 AM8000 能得志更多很是零件的测量需求。此外,AM8000 还支抓镜头行程自相宜,确保安装上不同镜头后,不会因误操作而撞上测量物件。

AM8000 搭载了 4 开脱度直驱电控平台,平台的 XY 行程最大可达 300mm近亲乱伦,负载才智擢升 2.5 倍,出动拼接速率擢升 30%,定位精度擢升 3 倍。对白光过问仪而言,要得志更多规格样品,就需要擢升其平台行程,但行程擢升会带来不深信性,从而影响精度。AM8000 的电控平台在收场大行程同期,其畅通直线度仍可达到 ±1um,角摆 ≤5 角秒。此外,AM8000 还可加装旋转平台,得志晶圆的 Mapping 测量需求。

此外,AM8000 还加多了轮回测量、批量导出测量暴露、对焦弧线、索要评选 ROI 等功能,并领有跨越 300+ 的测量器用,如面简陋度、抽象分析、纹理场所、粒子分析、纹理均质性等,更好地得志各行业的哄骗需求。

一键对焦 + 调平

让操作效果擢升 7 倍

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在白光过问仪操作中,最繁琐也最耗时的样式即是手动对焦与调平。这时时要依赖工程师的教化,也擢升了白光过问仪的操作门槛。AM8000 推出了" PreciTrack 条纹自动对焦"功能,工程师惟有摆放好物体,点击一键对焦,即可在 5 秒内完成对焦 + 寻找过问条纹,效果上是手动对焦操作的 7 倍。在调平上,AM8000 更推出了行业草创的" EquiDrive 自动调平"功能,它能在 5 秒内完成调平,将测量领域内的过问条纹数目降至 1 或 0,效果是手动调平操作的 8 倍。

在大尺寸零件测量上,AM8000 有领有丰富的拼接步地、如方环形、圆形、圆环形等。工程师径直输入数值,可自动生成需要的拼接区域。在样品批量测量时,AM8000 支抓多点位的编程测量,基于样品位置,自动跑位进行测量,无需每次手动抛弃样品。

AM8000 还加多了甩掉器模块,将平台出动、光源调养、调焦等功能集成到甩掉器上,工程师一键即可完成惯例操作,可提高 50% 的责任效果。

内置气浮 + 低要点机构

隔振踏实性擢升 2.7 倍

白光过问仪是精密测量仪器,外界篡改,概况东谈主员对开辟的误触碰,齐容易影响测量收尾。因此许多单元会为白光过问仪成立踏实环境。这就大大提高了开辟的哄骗门槛。若何缩短环境影响,已成为公共最初品牌校正开辟性能的热切场所。

为了管制这个问题,AM8000 接收了内置式气浮缓冲机构,将通盘这个词隔振机构和责任台包裹住,同期通过创举的低要点狡计,大幅缩短了环境振动对开辟的影响。经由测试,AM8000 的隔振踏实性擢升 2.7 倍,RMS 重叠性可达 0.0041nm。

此外,AM8000 成立了 5000um 大宗程压电陶瓷,500 万像素高速相机,逢迎行业草创 SST + GAT 算法,支抓 PSI ( 相移扫描 ) + VSI ( 垂直扫描 ) ,可瞬息完成亚纳米级数据网络。

现在,AM8000 可哄骗于新动力、汽车、3C 电子、半导体、精密光学、微纳加工、医疗器械、摩擦磨损等限制,如铜箔 / 铝箔简陋度测量、钙钛矿涂层厚度测量、光伏栅线高度测量、齿轮名义简陋度测量、犁型槽截面积测量、精密抛光名义简陋度测量、先进封装形色分析、陶瓷基板台阶高 / 平面度测量、超光滑简陋度测量、微流控芯片形色、植入体形色 / 简陋度、东谈主工晶状体形色 / 简陋度等。

在哄骗场景、智能化操作,测量踏实性三大维度上收场了大幅擢升后,AM8000 已能全濒临标公共顶级品牌的旗舰居品。这也意味着中国品牌在高精度白光过问测量限制已收场了中枢工夫突破,助力中国智能制造产业防止海外工夫卡脖子,增强高端供给、复旧制造强国、质地强国设立。